Informace o projektu
Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev
- Kód projektu
- GA19-00579S
- Období řešení
- 1/2019 - 12/2021
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
-
Přírodovědecká fakulta
- prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
- doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D.
- Mgr. Peter Klein, Ph.D.
- Mgr. Tomáš Rada
- Mgr. Marta Šlapanská, Ph.D.
- Spolupracující organizace
-
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
- Odpovědná osoba Martin Čada
- Odpovědná osoba Milan Tichý
Výzkum reaktivního impulsního naprašování (R-HiPIMS) je stále v začátcích. Pozornost je spíše soustředěna na charakterizaci deponovaných vrstev než na charakterizaci procesu depozice. Cílem projektu je proto přispět k porozumění vzájemného vztahu mezi módy depozičního procesu HiPIMS (metalický, přechodový, otrávený) a lokálními parametry plazmatu, jako energie a toky neutrálních a nabitých částic na substrát, hustotu, teplotu a rozdělovací funkci elektronů, a hustoty rozprašovaných částic. Projekt je zaměřen na charakterizaci depozičního procesu HiPIMS při depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev pomocí pokročilých a nových diagnostických metod s cílem zjistit vliv parametrů procesu na vlastnosti deponovaných vrstev. Významná pozornost bude věnována nestabilitám plazmatu, tzv. spoke-ům, které provázejí HiPIMS proces, a jejich vlivu na depoziční proces. Experimentální výsledky budou srovnány s teoretickými modely.
Publikace
Počet publikací: 28
2020
-
Sputtered titanium species dynamics in HiPIMS
Rok: 2020, druh: Konferenční abstrakty
-
Study of the transition from self-organised to homogeneous plasma distribution in chromium HiPIMS discharge
Journal of physics D: Applied physics, rok: 2020, ročník: 53, vydání: 15, DOI
2019
-
Fast camera imaging and strip probe measurements of spokes in HiPIMS plasma
Rok: 2019, druh: Konferenční abstrakty
-
Spoke behaviour in reactive HiPIMS
Rok: 2019, druh: Další prezentace na konferencích
-
Sputtered Species Ionisation and Hysteresis Behaviour of Reactive High Power Impulse Magnetron Sputtering
Rok: 2019, druh: Konferenční abstrakty
-
Study of self-organization in HiPIMS plasma, spoke merging and splitting
Rok: 2019, druh: Konferenční abstrakty
-
Temporal evolution of sputtered species number densities in reactive HiPIMS with nitrogen admixture
Rok: 2019, druh: Další prezentace na konferencích
-
Titanium Atom and Ion Number Density Evolution in Reactive HiPIMS with Oxygen‚ Nitrogen and Acetylene Gas
Rok: 2019, druh: Konferenční abstrakty