Informace o projektu
Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích
- Kód projektu
- GA202/07/1669
- Období řešení
- 1/2007 - 12/2011
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
-
Přírodovědecká fakulta
- doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.
- Mgr. Oto Brzobohatý, Ph.D.
- doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.
- Mgr. Daniel Franta, Ph.D.
- prof. RNDr. Josef Havel, DrSc.
- prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.
- prof. RNDr. Vladislav Navrátil, CSc.
- doc. Mgr. Zdeněk Navrátil, Ph.D.
- prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.
- doc. Mgr. Pavel Sťahel, Ph.D.
- prof. RNDr. David Trunec, CSc.
- doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
- Klíčová slova
- PECVD, dvojfrekvenční kapacitní výboj DF CCP, nanostrukturovaný DLC, thermomechanická stabilita
- Spolupracující organizace
-
Ústav jaderné fyziky AV ČR, v. v. i.
- Odpovědná osoba RNDr. Vratislav Peřina, CSc.
- Odpovědná osoba Ing. Jaroslav Sobota, CSc.
- Odpovědná osoba Mgr. Petr Klapetek, Ph.D.
Podstatou navrhovaného projektu je vyvinout depoziční systém pro přípravu termálně stabilních nanostrukturovaných diamantu podobných uhlíkových vrstev s využitím dvojfrekvenčního kapacitního plazmatu (DFCCP). Kombinací vysokofrekvenčního buzení, které zajišťuje stabilitu a vysokou hustotu plazmatu, a nízkofrekvenčního buzení, kterým lze nezávisle kontrolovat energii iontů, chceme dosáhnout kontrolovaného růstu vrstev. Předmětem studia bude nalezení optimální kombinace vysokofrekvenčního a nízkofrekvenčního (kontinuálního nebo pulzního) buzení umožňujíci rovnoměrně pokrýt nerovné, stupňovité povrchy substrátů i podstatné snížení vnitřního pnutí ve vrstvách. Je plánovaná komplexní diagnostika DFCCP i počítačová simulace pro popis a pochopení procesů probíhajících se během depozice. Připravené vrstvy budou rozsáhle charakterizovány jak z hlediska jejich struktury (RBS, ERDA, TOF ERDA, HRTEM, SEM atd.) tak i z hlediska jejich vlastností (např. ellipsometrie, spektrofotometrie, mikro- a nanovtiskové testy). Termální stabilita vrstev bude studována metodou termální desorpční spektroskopie.
Publikace
Počet publikací: 70
2015
-
Matrix-assisted laser desorption/ionisation quadrupole ion trap time-of-flight mass spectrometry of novel shape-persistent macrocycles
Rapid Communications in Mass Spectrometry, rok: 2015, ročník: 29, vydání: 12, DOI
-
Remotely Sensed Soil Data Analysis Using Artificial Neural Networks: A Case Study of El-Fayoum Depression, Egypt
ISPRS International Journal of Geo-Information, rok: 2015, ročník: 4, vydání: 2, DOI
2014
-
Laser ablation synthesis of new gold carbides. From gold-diamond nano-composite as a precursor to gold-doped diamonds. Time-of-flight mass spectrometric study
Rapid Communications in Mass Spectrometry, rok: 2014, ročník: 28, vydání: 3, DOI
-
Tissue profiling by nanogold-mediated mass spectrometry and artificial neural networks in the mouse model of human primary hyperoxaluria 1
Journal of Applied Biomedicine, rok: 2014, ročník: 12, vydání: 2, DOI
-
Tissue visualization mediated by nanoparticles: from tissue staining to mass spectrometry tissue profiling and imaging
Nanomedicine, vydání: Vyd. 1st, rok: 2014, počet stran: 22 s.
2013
-
Artificial neural networks in medical diagnosis
Rok: 2013, druh: Přehledové a vzdělávací texty
-
Gold-diamond nanocomposite as a precursor for laser ablation synthesis of gold carbides
Rok: 2013, druh: Další prezentace na konferencích
-
Whole-cell mass spectrometry profiling combined with artificial intelligence as a novel tool for fingerprinting of hESCs
Rok: 2013, druh: Další prezentace na konferencích
2012
-
Air DCSBD plasma treatment of Al surface at atmospheric pressure
Surface and Coatings Technology, rok: 2012, ročník: 206, vydání: 11-12, DOI
-
Hyperspectral imaging based method for fast characterization of kidney stone types
Journal of Biomedical Optics, rok: 2012, ročník: 17, vydání: 7, DOI