Informace o projektu
Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích
- Kód projektu
- GA202/07/1669
- Období řešení
- 1/2007 - 12/2011
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
-
Přírodovědecká fakulta
- doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.
- Mgr. Oto Brzobohatý, Ph.D.
- doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.
- Mgr. Daniel Franta, Ph.D.
- prof. RNDr. Josef Havel, DrSc.
- prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.
- prof. RNDr. Vladislav Navrátil, CSc.
- doc. Mgr. Zdeněk Navrátil, Ph.D.
- prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.
- doc. Mgr. Pavel Sťahel, Ph.D.
- prof. RNDr. David Trunec, CSc.
- doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
- Klíčová slova
- PECVD, dvojfrekvenční kapacitní výboj DF CCP, nanostrukturovaný DLC, thermomechanická stabilita
- Spolupracující organizace
-
Ústav jaderné fyziky AV ČR, v. v. i.
- Odpovědná osoba RNDr. Vratislav Peřina, CSc.
- Odpovědná osoba Ing. Jaroslav Sobota, CSc.
- Odpovědná osoba Mgr. Petr Klapetek, Ph.D.
Podstatou navrhovaného projektu je vyvinout depoziční systém pro přípravu termálně stabilních nanostrukturovaných diamantu podobných uhlíkových vrstev s využitím dvojfrekvenčního kapacitního plazmatu (DFCCP). Kombinací vysokofrekvenčního buzení, které zajišťuje stabilitu a vysokou hustotu plazmatu, a nízkofrekvenčního buzení, kterým lze nezávisle kontrolovat energii iontů, chceme dosáhnout kontrolovaného růstu vrstev. Předmětem studia bude nalezení optimální kombinace vysokofrekvenčního a nízkofrekvenčního (kontinuálního nebo pulzního) buzení umožňujíci rovnoměrně pokrýt nerovné, stupňovité povrchy substrátů i podstatné snížení vnitřního pnutí ve vrstvách. Je plánovaná komplexní diagnostika DFCCP i počítačová simulace pro popis a pochopení procesů probíhajících se během depozice. Připravené vrstvy budou rozsáhle charakterizovány jak z hlediska jejich struktury (RBS, ERDA, TOF ERDA, HRTEM, SEM atd.) tak i z hlediska jejich vlastností (např. ellipsometrie, spektrofotometrie, mikro- a nanovtiskové testy). Termální stabilita vrstev bude studována metodou termální desorpční spektroskopie.
Publikace
Počet publikací: 70
2011
-
Mechanical Properties of Ultrananocrystalline Thin Films Deposited Using Dual Frequency Discharges
CHEMICKÉ LISTY, rok: 2011, ročník: 105, vydání: CHLSAC 105
-
Reaction of higher harmonic frequencies on thin films
Rok: 2011, druh: Konferenční abstrakty
2010
-
Band structure of diamond-like carbon films assessed from optical measurements in wide spectral range
Diamond and Related Materials, rok: 2010, ročník: 19, vydání: 2-3
-
Determination of electron density and temperature in a capacitively coupled RF discharge in neon by OES complemented with a CR model
Journal of Physics D: Applied Physics, rok: 2010, ročník: 43, vydání: 50
-
Development of transparent protective coatings on polycarbonate substrates using PECVD
Rok: 2010, druh: Konferenční abstrakty
-
Diagnostics of reactive magnetron sputtering
Rok: 2010, druh: Konferenční abstrakty
-
Diagnostics of reactive magnetron sputtering
Rok: 2010, druh: Vyžádané přednášky
-
Effect of nitrogen incorporation on mechanical properties of DLC coatings on metallic substrates
Rok: 2010, druh: Konferenční abstrakty
-
Higher harmonic frequencies in capacitive discharges
Bulletin of the American Physical Society 55 (2010), CTP142, rok: 2010
-
Higher harmonic frequencies in capacitive discharges
63rd GEC and 7th ICRP - Conference Proceedings, rok: 2010